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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]对准装置-CN201610200491.3在审
  • 周钰颖;陆海亮 - 上海微电子装备（集团）股份有限公司
  • 2016-03-31 - 2017-10-24 - G03F9/00
  • 本发明提供了一种对准装置，包括照明单元、光学单元、探测单元及处理单元；其中，照明单元提供垂直照射对准标记的光源；光学单元将对准标记产生的正级次与负级次的衍射光平行并汇聚到其焦面上；探测单元设置在所述光学单元的焦面，使正、负级次衍射光在探测面上成像；处理单元根据正、负级次衍射光的成像信息得到正负级次衍射光的干涉光强信号，根据所述干涉光强信号随运动台位置变化的关系计算对准位置信息，从而无需使用楔板或复杂棱镜，结构简单，并且对准标记离焦和倾斜不会影响测量精度，实现了高精度测量；可兼容多种测量波长，并且对准标记兼容性好，可测量多方向的光栅型对准标记，亦可兼容不同周期的对准标记，提高了工艺适应性。
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN202111029230.7在审
  • 井浦惇 - 株式会社达谊恒
  • 2021-09-02 - 2022-03-15 - H01L21/68
  • 本发明提供对准装置，能通过少的驱动轴进行平面方向(X‑Y方向)以及绕着垂直轴的旋转方向(θ方向)的位置偏离补正。对准装置(A1)具备：具有支承工件(W)的第1支承部(11)以及用于使第1支承部(11)绕着第1垂直轴(V1)旋转驱动的第1驱动源(12)的第1旋转驱动机构(1)；具有支承工件(W)的第2支承部(21)
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN202211367460.9在审
  • 神田宽 - 佳能特机株式会社
  • 2022-11-03 - 2023-05-16 - H01L21/68
  • 本发明提供用于提高在基板与掩模的对准中的标记的检测可能性的技术。本发明涉及的对准装置具备：对准机构，其进行被成膜对象的基板与掩模的对准；检测机构，其根据通过对设置于基板的对准标记及设置于掩模的对准标记中的至少任一个进行拍摄而得到的图像数据，检测拍摄到的对准标记；以及判定机构，其对由检测机构进行的对准标记的检测进行好坏判定，检测机构对图像数据进行使用了第一方法的对准标记的检测，在基于第一方法进行的对准标记的检测由判定机构判定为不好的情况下，检测机构对图像数据进行使用了与第一方法不同的第二方法的对准标记的检测
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN202310120345.X在审
  • 王辉;郭曙光;雷陶均 - 深圳莫廷医疗科技有限公司
  • 2023-02-02 - 2023-05-30 - A61B3/00
  • 本申请提供了对准装置。对准装置包括：发光件，发光件包括光源，光源用于发出一种预设波长范围的可见光，发光件具有图案区，图案区用于透过可见光以形成图案光；分光件，邻近发光件设置，用于透过图案光，且根据图案光形成至少两个对准像，至少两个对准像的中心均在分光件的光轴上，且每个对准像的最大尺寸均不相同；透镜，相较于分光件远离发光件设置，用于透过至少两个对准像至眼部；及光阑，设于透镜与分光件之间，用于遮挡部分进入透镜的光；其中，图案区邻近透镜的焦平面设置，分光件的光轴与透镜的光轴共线本申请提供的对准装置只需一个光源可实现眼部的自测对准，使得对准装置的尺寸小。
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN202211050163.1在审
  • 铃木健太郎;三泽启太;佐藤精二;永田哲也 - 佳能特机株式会社
  • 2022-08-31 - 2023-03-03 - H01L21/68
  • 本发明提供一种对准装置，抑制成膜中的基板与掩模的对准时的位置偏离，提高对准精度。该对准装置具备：在沿着基板的被成膜面的平面内进行基板与掩模的相对位置调整的对准机构、在与平面交叉的交叉方向上使基板相对于掩模的相对位置移动的移动机构、以及测定平面中的基板的位置的测定机构，在将与基板不同的夹具配置于第一高度的状态下
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN201310429313.4有效
  • 陆海亮;王帆 - 上海微电子装备（集团）股份有限公司
  • 2013-09-18 - 2019-05-31 - G03F9/00
  • 本发明公开了一种对准装置包括：光源，提供照明光束；反射面，设置于对准标记上方，使对准标记产生的一个方向上的各级次衍射光偏转后与另一个方向上对应的各级次衍射光平行；汇聚透镜，将对应的正负级次衍射光干涉成像到其焦面；探测模块，位于汇聚透镜的焦面，探测多级次的干涉图像的信号；运动台，用于承载对准标记，实现对对准标记的扫描测量；控制模块，与所述运动台与探测模块分别相连，并同步控制运动台和探测模块。
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN201310347666.X有效
  • 张鹏黎;许琦欣;周钰颍 - 上海微电子装备有限公司
  • 2013-08-09 - 2017-04-05 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种对准装置，包括照明模块、干涉模块和探测模块，所述干涉模块至少包括一组科斯特（Koster）棱镜，多个波长的光源发出的光束通过所述照明模块输出照明光束，所述照明光束通过所述干涉模块入射到对准标记，所述干涉模块还通过所述科斯特（Koster）棱镜将所述对准标记衍射得到的对称的正负极衍射光进行重合形成探测光，所述探测光被所述探测模块转化为干涉信号并进行收集，从而通过收集得到的干涉信号的信息可以得到所述对准标记的位置信息
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN200910195570.X有效
  • 何*;杨小军 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2009-09-11 - 2011-04-20 - C25D7/12
  • 本发明揭露了一种对准装置，所述对准装置包括：底座；设置于所述底座上的支撑件，用于承载晶圆；设置于所述底座上的探测模块，用于判断所述晶圆的表面是否具有特定膜层；设置于所述底座上的晶圆卡盘和定位螺丝；与所述晶圆卡盘连接的驱动装置；其中，当所述晶圆的表面具有特定膜层时，所述驱动装置驱动所述晶圆卡盘移动，以使所述晶圆卡盘与所述定位螺丝夹持所述晶圆。
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN200910164730.4有效
  • 门胁徹二 - 株式会社爱发科
  • 2009-07-16 - 2010-01-20 - G02F1/1333
  • 本发明提供一种可以将装置全体小型轻量化，并可以降低对工件进行位置对准的负荷，还可以降低耗电量的对准装置。对准装置30具有互相分开的4个对准载台31，并以设于各自对应的1个对准载台31上的4个对准工作台AT支撑面板。使位于4处的对准工作台AT通过联结杆40a、40b、41a、41b连动，将由对准工作台AT支撑的面板对应于位置偏差进行左旋转移动、右旋转移动、右侧平行移动、左侧平行移动、后侧平行移动、或者前侧平行移动，
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN200410098513.7有效
  • 郑宰圭;林种高 - LG.菲利浦LCD株式会社
  • 2004-12-09 - 2005-06-15 - G02F1/133
  • 本发明公开了一种对准装置，该装置包括：承载板，用于装载至少一对准目标；第一和第二对准杆，用于对准装载在所述承载板上的所述至少一对准目标，其中当所述第一和第二对准杆接触所述对准目标时，该第一和第二对准杆被高于阈值的压力弯曲；以及至少一驱动单元，用于沿朝向彼此的闭合方向和远离彼此的打开方向驱动所述第一和第二对准杆。
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN201910330671.7有效
  • 李硕徽;崔原畅 - PSK控股公司;塞米吉尔公司
  • 2019-04-23 - 2023-07-14 - H01L21/68
  • 本发明提供一种对准形成有槽口部的处理对象的对准装置。本发明的一实施例对准装置包括：支撑部件，放置有处理对象；驱动部，旋转所述支撑部件；推动部件，向放置于所述支撑部件上的处理对象的侧面施加力，而将所述处理对象移动至所述支撑部件上的原位置；槽口部感应部，检测所述处理对象的槽口部是否处于一定位置
  • 对准装置
  • [发明专利]对准装置-CN200810301050.8无效
  • 庄信弘 - 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
  • 2008-04-11 - 2009-10-14 - G03F9/00
  • 本发明涉及一种对准装置，用以对软微影制程中的基层与上层进行精确对准，该基层具有至少一个第一对准图案，该上层具有至少一个第二对准图案，该对准装置包括一个基准台，其上装载一个基准图形，该基准图形具有与第一对准图案相对应的第一基准图案，及与第二对准图案相对应的第二基准图案；一个承载台，用于承载并固持该基层，该承载台可驱动该基层运动以使该基层上的第一对准图案与该第一基准图案相对准，该上层可通过一个夹持装置夹持并层叠在该基层上，且该夹持装置移动该上层以使该第二对准图案对准该第二基准图案；以及一个光学放大单元，用以对基准图形上的第一、第二基准图案，基层及上层上的第一、第二对准图案进行光学放大。
  • 对准装置
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